簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="化學機械拋光平坦化"


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    矽晶圓薄化與平坦化加工研究
    • /95/ 博士
    • 研究生: 許厲生 指導教授: 陳炤彰
    • 晶圓薄化與化學機械拋光平坦化廣泛應用在半導體製程方面,屬於超精密平坦化加工技術。在矽晶圓基板製造、封裝製程之晶圓薄化以及半導體IC製程之線寬縮減等需求下,晶圓薄化以及化學機械拋光平坦化能夠克服日益嚴…
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